En la lastaj jaroj, la sensila teknologio de mia lando rapide disvolviĝas, kaj ĝiaj aplikaj kampoj ankaŭ pligrandiĝas. Kiel la plej matura speco de moderna mezurada teknologio, novaj teknologioj, novaj materialoj kaj novaj procezoj konstante aperas en la kampo de premaj sensiloj.
Prema sensilo estas aparato uzata por detekti premajn signalojn kaj konverti ilin en elektrajn signalojn laŭ iuj reguloj. Ĝi estas vaste uzata en diversaj produktadaj, industriaj kaj aerspacaj kampoj. Kun la subdivido de aplikaj kampoj, mezurado de premo en alt-temperaturaj kaj severaj medioj kiel alt-temperaturaj oleo-putoj kaj diversaj motoraj kavoj fariĝas pli kaj pli gravaj, dum la materialoj uzataj en ordinaraj premaj sensiloj superas certan temperaturon (ekzemple, la labora temperaturo. ° C) malsukcesos, rezultigante fiaskon de prema mezuro. Tial la alta temperaturprema sensilo fariĝas tre grava esplora direkto.
Klasifiko de Altaj Temperaturaj Premaj Sensiloj
Laŭ la malsamaj materialoj uzataj, alt-temperaturaj premaj sensiloj povas esti dividitaj en polisilicon (poly-Si) alt-temperaturajn premajn sensilojn, SIC-alt-temperaturajn premajn sensilojn, SOI (silicio sur izolilo) alt-temperatur-premo, SOS (Silicon sur SAPPHIRE) SILPHIRE-SILPHIRE-SILICO-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-SPREZIFIKA SUFTESALUDO, SOS-TEMPERICO-SILICO-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-S-SPREZIFIKA SPECTIONO Esplora statuso kaj perspektivoj de SOI-alt-temperaturaj premaj sensiloj estas tre idealaj. La sekva plejparte enkondukas la SOI -altan temperaturpreman sensilon.
SOI Alta Temperatura Prema Sensilo
La disvolviĝo de SOI-alt-temperaturaj premaj sensiloj ĉefe dependas de la pliiĝo de SOI-materialoj. Soi estas silicio sur izolilo, kiu ĉefe rilatas al la duonkonduktila materialo formita inter la SI-substrato-tavolo kaj la SI-supra tavolo-tavolo kun SIO2 kiel la substrato de la tavolo de SOI-pordo de SOI-la pordo de la tavolo de SOI-la pordo. silicio, kaj plibonigas la fidindecon de la aparato. Aldone, pro la alt-temperaturaj trajtoj de la SOI-aparato-tavolo, ĝi fariĝas ideala materialo por prepari alttempajn premajn sensilojn.
Nuntempe, SOI -alt -temperaturaj premaj sensiloj estis sukcese disvolvitaj eksterlande, kaj la funkcia temperaturo estas -55 ~ 480 ° C; la -55 ~ 500 ° C SOI -alt -temperatura prema sensilo disvolvita de la Goodrich Altnivela Sensora Teknologia Centro en Usono; La SOI-alt-temperatura prema sensilo disvolvita de la Franca Leti-Instituto ankaŭ havas funkciantan temperaturon de pli ol 400 ° C.Domaj esplorinstitucioj ankaŭ aktive faras esploradon pri SOI-alt-temperaturpremaj sensiloj, kiel Xi'an Jiaotong-Universitato, Universitato Tianjin, kaj Peking University. Krome, la Fatri Future Advanced Technology Research Institute de Fatri ankaŭ faras rilatajn esplorajn laborojn, kaj la nuna projekto eniris la manifestacian stadion.
Laboranta Principo de SOI Alta Temperatura Prema Sensilo
Principe, la SOI -Alta Temperatura Prema Sensilo ĉefe uzas la piezoresistan efikon de ununura kristala silicio. Wheatstone -ponto kiel montrita en Figuro 2 (a); Prema malantaŭa kavo estas gravurita sur la SOI -substrata tavolo por formi preman senteman strukturon.
Figuro 2 (a) Wheatstone Bridge
Kiam la premo-sentema strukturo estas submetita al aerpremo, la rezisto de la piezoresistoro ŝanĝiĝas, kiu siavice kaŭzas, ke la elira tensio-valo ŝanĝiĝas, kaj la prema valoro estas mezurita per la rilato inter la elira tensia valoro kaj la rezista valoro de la piezoresisto.
Fabrikada procezo de SOI -alta temperaturprema sensilo
La prepara procezo de SOI-alt-temperatura prema sensilo implikas multoblajn MEMS-procezojn. Iuj ŝlosilaj paŝoj estas mallonge enkondukitaj ĉi tie por kompreni la procezon de la sensilo, ĉefe inkluzive de piezoresistor-preparado, preparado de metalaj plumbo, premo de premo de premo kaj prema ĉambra pakaĵo.
La ŝlosilo por la preparado de varistoroj kuŝas en la kontrolo de la dopada koncentriĝo kaj la optimumigo de la posta akva mulda procezo; La metala plumba tavolo servas ĉefe kiel la ligo de la Wheatstone Bridge; La preparado de la prema sentema filmo ĉefe dependas de la profunda silicia akva procezo; La pakaĵo de la kavo kutime varias depende de la apliko de la prema sensilo,
Ĉar la aktualaj komercaj alt-temperaturaj premaj sensiloj ne povas bone plenumi la premajn mezuradajn postulojn de specialaj severaj medioj kiel alt-temperaturaj oleo-putoj kaj aer-motoroj, estontaj esploroj pri alt-temperaturaj premaj sensiloj fariĝis neeviteblaj. Daŭre al ĝia speciala strukturo kaj alt-temperaturaj trajtoj. Estontaj esploroj pri SOI-alt-temperaturaj premaj sensiloj devas koncentriĝi pri solvo de la longtempa stabileco kaj mem-hejtado de sensiloj en alt-temperaturaj severaj medioj kaj plibonigado de la precizeco de premaj sensiloj. aspekto.
Kompreneble, la apero de la inteligenta epoko ankaŭ postulas SOI-alt-temperaturajn premajn sensilojn kombinitajn kun aliaj multidisciplinaj teknologioj por alporti pli inteligentajn funkciojn kiel memkompenso, mem-kalibrado kaj informado al la sensilo, por pli bone kompletigi la mision de sentado de kompleksa alta temperaturo media premo. .
Afiŝotempo: Feb-13-2023